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HES™SYSTEM

HES™SYSTEM

[水平型 HES™ System ]

HES™ ( Hybrid Electrostatic Scrubber )是为了对CVD排气的处理,现有的湿式洗涤塔系统 ( Wet Scrubber System )上安装水模型负离子( WFI(Water Film Ionizer) ) 及成型活性炭 ( MAC(Molded Activated Carbon) )对微细离子处理效率和氟(F)化合物处理效率大为提高的产品.

HES™SYSTEM 特点

持续维持率

根据水膜防止集尘极表面灰尘生成,不需要火花或者电弧放电来集尘极和放电极之间高电场(3~4kV/cm)认可,可连续运行在同等单位集尘面积(SCA, Specific collection Area, s/m) 下持续的维持率.

较长的维保周期

采用WFI™(Water Film Ionizer)在集尘极表面上形成稳定及连续的水膜 , 防止灰尘沉积减少了集尘极的清扫次数.

性能高

形成的水膜保护集尘极严酷的电弧(Arc)状况上火灾的危险几乎没有所以性能很高.

较长的维保周期

形成的水膜在集尘极表面上赋予电性导电性,耐蚀性优良,可采用价格低廉的FRP及PVC等非导体材质的集尘极.

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